投稿一覧に戻る レーザーテック(株)【6920】の掲示板 2019/12/23〜2019/12/29 1055 Drnishizawa 2019年12月29日 23:04 >>1051 k1を下げるには、超解像技術を使うのでしょうが、暗いEUV光源では、照明系の瞳を制限するのも難しく、斜め光線なので収差も出易く、反射マスクなので位相シフトも難しいので、非常に難易度が高いのではないでしょうか？ そう思う3 そう思わない9 開く お気に入りユーザーに登録する 無視ユーザーに登録する 違反報告する 証券取引等監視委員会に情報提供する ツイート 投稿一覧に戻る
>>1051
k1を下げるには、超解像技術を使うのでしょうが、暗いEUV光源では、照明系の瞳を制限するのも難しく、斜め光線なので収差も出易く、反射マスクなので位相シフトも難しいので、非常に難易度が高いのではないでしょうか？