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レーザーテック(株)【6920】の掲示板 2019/12/23〜2019/12/29

余談ですが、ASMLが競合に追いつかれない要素がありまして、ASMLは一台のスキャナーに勿論投影光学系は一台ですが、ウエハーステージは二台付いていて、順番にウエハーをセット、位置測定、露光、ウエハー排出を交互に繰り返すので、スループットが高いです。露光機はスループットが競争力なんです。