投稿一覧に戻る (株)タムラ製作所【6768】の掲示板 2022/06/08〜2022/06/14 1039 vjy***** 2022年6月14日 20:17 内容が専門的過ぎてよくわからんが とりあえず２インチ以上の基板にGaCl3ガスを使ってHVPE法でエピ膜を形成したウェハーの基本特許なんじゃないの？ そう思う4 そう思わない1 開く お気に入りユーザーに登録する 無視ユーザーに登録する 違反報告する 証券取引等監視委員会に情報提供する ツイート 投稿一覧に戻る
内容が専門的過ぎてよくわからんが
とりあえず２インチ以上の基板にGaCl3ガスを使ってHVPE法でエピ膜を形成したウェハーの基本特許なんじゃないの？