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(株)ジェイ・イー・ティ【6228】の掲示板 2024/04/18〜2024/04/25

半導体洗浄装置のJET、ラピダス向けに試作装置開発へ

2024年4月3日 20:30

半導体洗浄装置メーカーのジェイ・イー・ティ(JET)は3日、最先端半導体の製造を目指しているラピダスの北海道工場向けに試作装置を開発すると発表した。2025年の完成を予定する工場の試作ラインに納入する。

JETの半導体洗浄装置は25〜50枚のウエハーをまとめて処理する「バッチ式」と、1枚ずつ処理する「枚葉式」がある。ラピダス向けには枚葉式でリン酸を使うプロセスを取り入れた新タイプになるという。