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エヌビディア【NVDA】の掲示板 2019/06/04〜2019/07/06

EUVの13.5nmの光源を、軟X線と呼ばない理由だが、20年くらい前NGLの開発に当時先行していたX線等倍転写技術と区別して科研費を申請するのにEUVのいうネーミングでテーマを敢えて分けた、と言うのは知っていたが、もう一つ、X線は内殻のエネルギー準位に穴が空いて、そこに自由電子が落ち込む時の発光の事を言うが、EUVは錫の7価か8価のイオンの最外軌道に、自由電子が落ちて発光するので、分光学の定義的に軟X線と呼べないのだと思う。