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キヤノン(株)【7751】の掲示板 2024/04/25〜2024/05/06

>>576

半導体メモリー製品に仕上げるには数十もの露光工程が必要。ASMLの EUV露光は独擅場だが全体の数工程にしか使用されない。つまりi線露光装置やKrF露光装置を抜きに最先端半導体は製造できないのだ。Canonはi線露機の8割、KrFの3割を占めている。 TSM、Samsung には多数Canonの露光機が稼動しているNikon やCanon が露光機で完敗という表現は当たらない。Canonナノインプリント露光機に期待!!

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