投稿一覧に戻る レーザーテック(株)【6920】の掲示板 2023/09/12〜2023/09/13 920 elv***** 2023年9月13日 11:26 レーザーテクが５日ぶり反発、高輝度ＥＵＶプラズマ光源を新開発 レーザーテック<6920>が５日ぶりに反発している。１２日の取引終了後、高輝度ＥＵＶプラズマ光源を新たに開発したと発表しており、好材料視されている。 「ＵＲＡＳＨＩＭＡ（ウラシマ）」と名づけられた同光源は、高速回転する液体状のＳｎ（錫）にレーザーを照射してＥＵＶ光を発生させるＬＰＰ方式を採用。独自に開発したデブリミチゲーションシステムを用いることで、マスクがデブリで汚染されることのないデブリフリーのＥＵＶ光源を実現したのが特徴で、今後はアクティニックＥＵＶパターンマスク欠陥検査装置「ＡＣＴＩＳ」シリーズへの適用を進めるとしている。 そう思う10 そう思わない4 開く お気に入りユーザーに登録する 無視ユーザーに登録する 違反報告する 証券取引等監視委員会に情報提供する ツイート 投稿一覧に戻る
レーザーテクが５日ぶり反発、高輝度ＥＵＶプラズマ光源を新開発
レーザーテック<6920>が５日ぶりに反発している。１２日の取引終了後、高輝度ＥＵＶプラズマ光源を新たに開発したと発表しており、好材料視されている。
「ＵＲＡＳＨＩＭＡ（ウラシマ）」と名づけられた同光源は、高速回転する液体状のＳｎ（錫）にレーザーを照射してＥＵＶ光を発生させるＬＰＰ方式を採用。独自に開発したデブリミチゲーションシステムを用いることで、マスクがデブリで汚染されることのないデブリフリーのＥＵＶ光源を実現したのが特徴で、今後はアクティニックＥＵＶパターンマスク欠陥検査装置「ＡＣＴＩＳ」シリーズへの適用を進めるとしている。