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レーザーテック(株)【6920】の掲示板 2023/03/02

Microsoft Bingに聞いてみました。

答え:

Centura Sculptaとは、Applied Materialsが発表した新しいパターニング装置です12。EUV露光のダブルパターニング工程を1回に削減できる新たな回路パターン形成技術「pattern shaping」を搭載しています2。この技術は、ウエハー上の特徴の寸法を正確にかつ一方向に変更することで、EUVパターニングの性能を向上させるとされています2。

Centura Sculptaは、先進的なロジックノードの最も重要なパターニング層に適用できます2。EUV露光装置よりも低コスト、低複雑度、低エネルギー消費で高品質なパターニングが可能だと主張しています31。

Centura Sculptaは2023年2月28日に発表されました31。ASMLの株価は一時▲5%下落しました1。これは、Centura SculptaがASMLのEUV露光装置と競合する可能性があることを示唆しています。