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(株)タムラ製作所【6768】の掲示板 2021/11/11〜2021/11/18

>>955
トレンチ構造という表面に溝を切ったみたいな構造で作ればSiCのSBDを40%上回る。しかし量産用の100mmウェーハ―で試作したSBDにはこの構造がまだ取り入れられていないらしくSiCと同等止まり。100mmウェーハは欠陥を減らすために表面に酸化ガリウムの膜を作ってあるので、表面にトレンチを切るには更なる開発が必要っぽい。ということだと思っている。

ということで開発次第で勝つ見込みあり。