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(株)タムラ製作所【6768】の掲示板 2024/02/07〜2024/03/07

株式会社ノベルクリスタルテクノロジー 取締役CTO/部長 佐々木 公平 氏
概要
β型酸化ガリウムは、シリコンの約25倍という大きな絶縁破壊電界強度を有し、さらに融液成長法で高品質な単結晶基板を安価に製造できることから、そのパワーデバイス応用が世界中で精力的に検討されている。我々がβ型酸化ガリウムパワーデバイスの開発を開始して15年になる。15年前は、爪の先ほどの大きさの酸化ガリウム単結晶を手作りして、そこに電極をつけてダイオードやトランジスタを試作していたが、今では4インチラインでダイオードの量産試作を行うところまで開発が進んでいる。本講演では、β型酸化ガリウム開発の最新動向と今後の展望について解説する。