(株)タムラ製作所【6768】の掲示板 2024/01/19〜2024/02/06

>>1028

最近のことで　発表が少ない

世界初、垂直ブリッジマン法による6インチβ型酸化ガリウム単結晶の作製に成功
まとめ
基板化加工の際の不要部分が大幅に少なく、低コスト化が可能

引き上げ法による育成と異なり、坩堝内の融液を凝固させる育成法であるため、結晶の異方性に起因する成長面の制約を受けにくく、さまざまな基板の面方位を作製可能

温度勾配が小さい環境での育成が可能

結晶の高品質化が可能

結晶成長方向に対して垂直に基板を取得できるためにドーパント濃度の面内均一性の向上が期待できる