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芝浦メカトロニクス(株)【6590】の掲示板 2022/06/10〜2023/03/09

芝浦メカトロニクスのEMIシールド用スパッタリング装置は半導体素子へ金属膜を成膜する事でノイズ(EMI、EMS)等の影響を防止し、ミクロンオーダーCu(5μm程)の厚膜も熱ストレスフリーの低温成膜可能である。

芝浦メカトロニクス(株)【6590】 芝浦メカトロニクスのEMIシールド用スパッタリング装置は半導体素子へ金属膜を成膜する事でノイズ(EMI、EMS)等の影響を防止し、ミクロンオーダーCu(5μm程)の厚膜も熱ストレスフリーの低温成膜可能である。