(株)宮入バルブ製作所【6495】の掲示板 2023/12/22〜

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半導体製造装置用 クリーンバルブとは
(by ChatGPT)

半導体製造装置用のクリーンバルブは、極めて清浄な環境で使用される半導体製造プロセスにおいて、ガスや液体の流れを制御するためのバルブです。これらのバルブは、微細な粒子や不純物を最小限に抑えるために、高度なクリーンルーム内で製造され、保持されます。

クリーンバルブは、半導体製造プロセスにおける異なる工程やガスの種類に応じて設計されています。例えば、化学蒸着や物理蒸着などのプロセスに使用されるガス供給用のクリーンバルブは、非常に高い安全性と信頼性が求められます。さらに、液体やガスの流れを微調整することができるように設計され、極めて高い精度が求められます。

半導体製造装置用のクリーンバルブは、プロセスの安定性や品質の確保に重要な役割を果たします。そのため、製造工程において最も厳しい要求仕様を満たすように設計され、常に最新の技術と品質基準に基づいて開発されています。