Ｍｉｐｏｘ(株)【5381】の掲示板 2020/08/28〜2021/01/18

『塗る・切る・磨くで世界を変える』Mipox株式会社（本社：東京都新宿区　代表取締役社長：渡邉 淳）は、東海国立大学機構名古屋大学との共同研究「半導体製造の生産性を向上させるキラー欠陥自動検査システムの開発」が国立研究開発法人新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO）の「官民による若手研究者発掘支援事業」に採択されたことをお知らせします。

（一部抜粋）
今回採択を受けた本共同研究では、半導体材料の品質を低下させる結晶欠陥（転位）を可視化する「複屈折イメージング」により転位の歪み分布（マッピング）をとらえます。そして、シミュレーションと機械学習を用いることにより、SiCを始めとする半導体基板中の転位の種類や位置を非破壊で自動的に検出するシステム、およびデバイスの歩留り低下をもたらすキラー欠陥を特定するシステムを開発。これらのシステムは、半導体基板やパワーデバイスの飛躍的な生産性向上に寄与し、将来的に日本のパワー半導体製造の標準装備となることが期待されます。