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扶桑化学工業(株)【4368】の掲示板 2022/11/11〜
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pao*****
強く売りたい
2023年7月3日 16:32
>>221
FEOLで12回ならBEOLより多いだろうねぇ
デュアルダマシンを使っているだろうから、銅配線1層あたり1回のCMP。TEMなんかで10層の写真もあるけど、設計者はコストを下げるために配線層数は減らすだろうから、それよりももっと少ないはずだしね。
あとは、プレーナかFIN-FET以降かでFEOLでのCMPの回数も違うだろうし、ライン増もFIN-FET以降はそんなに投資をするんかいな?という疑問もあるし，この先はどうなる???
ということで、ホールドを続けるのであった。
ほんとは有機酸の方が成長したりして・・・
>>220
近年FEOLのCMP回数が激増して、その動きに合わせるかのようにここの躍進があるので、まぁFEOL主体なんだろう、というのが私の見立てです。
最新かは知りませんが、FEOLだけで12回CMPしてるそうです。