WisdomTree 貴金属バスケット上場投信【1676】の掲示板

　半導体関連の技術者でもある私は酸化膜エッチャーは6インチ用のTE8500とUnityしか使ったことは有りません。

　共に平行平板型のナローギャップのプラズマエッチャーです。
　
　下地シリコンとの選択比、垂直穴形状が優れていました。

　参考にしてください。