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(株)ニコン【7731】の掲示板 2023/07/27〜2024/01/26

ニコンは12月6日、同社史上最高の生産性、かつ重ね合わせ精度とスループットを高レベルで両立したクリティカルレイヤ向け露光装置としてArF液浸スキャナ「NSR-S636E」を2024年1月より発売することを発表した。